基于STM的原子力顯微鏡的設(shè)計(jì)及應(yīng)用
發(fā)布日期：2008-09-01
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【作者】：何光宏 ，張志津2，彭光含3，白海會(huì)1，楊學(xué)恒1 【單位】：1重慶大學(xué)數(shù)理學(xué)院，重慶 400044；2 天津商學(xué)院，天津 300134；3 湖南文理學(xué)院物電系，湖南 常德 415000 【摘要】： 原子力顯微鏡由于不受物質(zhì)導(dǎo)電性的限制，已經(jīng)成為納米檢測(cè)和加工的重要手段之一。本文介紹了根據(jù)隧道效應(yīng)檢測(cè)原子力顯微鏡微懸臂位移的原理自制的原子力顯微鏡的系統(tǒng)組成，重點(diǎn)講述了鏡體結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)，測(cè)試結(jié)果表明該儀器具有原子量級(jí)的分辨率。最后還給出了用該原子力顯微鏡檢測(cè)到的幾幅效果很好的物體的三維表面形貌圖。
